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实验数据分析-等离子清洗6层刚挠结合板通孔2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!应用

  • 分类:业界动态
  • 作者:等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
  • 来源:
  • 发布时间:2021-07-19
  • 访问量:

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3、 CF4与02流量比对孔壁平整性影响
? ? ? ?挠性板用2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您! www.casestudynetwork.com 版权钻头2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!前倾角大,使用在刚挠结合板中,很容易磨损。磨损严重2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!刀具钻环氧玻璃布时,玻璃丝很容易被拉断,而不是被刀具切断。而在玻璃布处2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!环氧含量又很少,很容易与玻璃丝-起被拉裂而造成环氧玻璃布孔壁玻璃布处孔壁很粗糙。这增加了后期等离子清洗孔壁2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!难度。在清洗孔壁时,为了提高镀铜与孔壁2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!结合力,通常要将孔壁蚀刻几个微米。对于六层刚挠结合板,L1~L2层之间与L2~L3层之间2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!环氧玻璃布被L2层2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!铜箔隔开。而L2层2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!铜箔对L1~L2层之间与L2~L3层之间2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!环氧玻璃布蚀刻后2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!均匀性,粗糙度影响非常大。选择合适2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!蚀刻参数才能获得优良2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!孔壁。根据渗透试验中获得2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!结论,选择500m/min2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!气体总量,使用不同2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!气体流量比例对六层刚挠结合板进行蚀刻。气体比例分别为小,中,大三种比例。其它参数为:蚀刻温度为: 150F; 蚀刻功率为: 2200W; 蚀刻时间视气体流量比例大小而定。比较孔壁2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!均匀性,选择蚀刻2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!气流流量比例。由于开始清洗时,铜箔对不同层间2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!环氧玻璃布影响不大,为提高清洗速度,等离子清洗清洗2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!气体比例设定为CF4: O2为0.5,气体总量为900m/min.其它参数:蚀刻温度为: 65.5C (150F);蚀刻功率为:2200W;蚀刻时间6min。然后,再使用上述试验得出2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!气体比例对孔壁进行二阶段适量蚀刻。其它参数:蚀刻温度: 65.5C(150F) ;蚀刻功率为: 2200W; 时间依据蚀刻量而定。清洗完后,沉镀铜金相剖面切片观察孔壁2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!均匀性。

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等离子清洗1、等离子清洗渗透能力试验:刚挠结合板清洗使用2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!气体主要是CF42021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!O2气体。稳态气体在电极板交变电压2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!作用下,形成等离子,并开始与孔壁上2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!物质发生化学反应。等离子气体是由孔外部向孔内部输送2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!,与孔边缘接触2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!时间较长,清洗或蚀刻2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!量也较大。所以,等离子清洗完后,孔中间2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!清洗量较小,孔边缘清洗量较大。
2、等离子清洗渗透能力试验刚挠结合板清洗使用2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!气体主要是CF42021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!O2气体。稳态气体在电极板交变电压2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!作用下,形成等离子,并开始与孔壁上2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!物质发生化学反应。等离子气体是由孔外部向孔内部输送2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!,与孔边缘接触2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!时间较长,清洗或蚀刻2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!量也最大甲。所以,等离子清洗完后,孔中间2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!清洗量较小,孔边缘清洗量较大。在清洗或蚀刻过程中,气体总较对等离子2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!渗透能力影响较大。分别使用不同CF4+O2流量气体对2.7mm深、0.25mm直径2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!通孔进行蚀刻。通孔2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!孔壁只由环氧玻璃布组成,没有铜层。蚀刻2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!试验:按照下列2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!参数进行: CF4+O2流量分别为300m/min、 500ml/min、 700m/min、 900ml/min.1100m/min、1300m/min; CF4: O2为0.5;蚀刻温度为: 150F; 蚀刻功率为: 2200W; 蚀刻时间为15min。蚀刻完后,分别测试孔中间2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!直径参数D22021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!孔边缘2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!参数D,2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!孔深H,每个样品测试10个参数,取平均值
3、 CF4与02流量比对孔壁平整性影响
       挠性板用2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您! www.casestudynetwork.com 版权钻头2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!前倾角大,使用在刚挠结合板中,很容易磨损。磨损严重2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!刀具钻环氧玻璃布时,玻璃丝很容易被拉断,而不是被刀具切断。而在玻璃布处2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!环氧含量又很少,很容易与玻璃丝-起被拉裂而造成环氧玻璃布孔壁玻璃布处孔壁很粗糙。这增加了后期等离子清洗孔壁2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!难度。在清洗孔壁时,为了提高镀铜与孔壁2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!结合力,通常要将孔壁蚀刻几个微米。对于六层刚挠结合板,L1~L2层之间与L2~L3层之间2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!环氧玻璃布被L2层2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!铜箔隔开。而L2层2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!铜箔对L1~L2层之间与L2~L3层之间2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!环氧玻璃布蚀刻后2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!均匀性,粗糙度影响非常大。选择合适2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!蚀刻参数才能获得优良2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!孔壁。根据渗透试验中获得2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!结论,选择500m/min2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!气体总量,使用不同2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!气体流量比例对六层刚挠结合板进行蚀刻。气体比例分别为小,中,大三种比例。其它参数为:蚀刻温度为: 150F; 蚀刻功率为: 2200W; 蚀刻时间视气体流量比例大小而定。比较孔壁2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!均匀性,选择蚀刻2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!气流流量比例。由于开始清洗时,铜箔对不同层间2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!环氧玻璃布影响不大,为提高清洗速度,等离子清洗清洗2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!气体比例设定为CF4: O2为0.5,气体总量为900m/min.其它参数:蚀刻温度为: 65.5C (150F);蚀刻功率为:2200W;蚀刻时间6min。然后,再使用上述试验得出2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!气体比例对孔壁进行二阶段适量蚀刻。其它参数:蚀刻温度: 65.5C(150F) ;蚀刻功率为: 2200W; 时间依据蚀刻量而定。清洗完后,沉镀铜金相剖面切片观察孔壁2021欧洲杯决赛比分竞猜|首页_欢迎您!均匀性。

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